Advantest si aggiudica tre ordini per la Serie F7000, sistema di litografia a fascio elettronico

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Advantest ha annunciato di aver ricevuto i primi tre ordini relativi a F7000, il nuovo sistema di litografia a fascio elettronico, acquistati dalle Università di Tokyo e di Kyoto, oltre che da un cliente attivo nel settore dei semiconduttori. I sistemi saranno consegnati entro l’esercizio fiscale che si chiuderà nel marzo 2014.

La Serie F7000 utilizza fasci elettronici per la scrittura di pattern a dimensioni ridotte direttamente sui substrati. Offre i migliori livelli di produttività della sua categoria nelle dimensioni di nodo 1Xnm, attuale catalizzatore della domanda di R&S per semiconduttori. La funzione di pulizia automatica del sistema garantisce la regolarità della performance sul lungo periodo, mentre la funzione di regolazione consente l’utilizzo per substrati di diverse dimensioni, forme e materiali.

I clienti che hanno acquistato i sistemi litografici della Serie F7000 prevedono di utilizzarli a scopo di R&S nei settori di MEMS (sistemi microelettromeccanici) e NEMS (sistemi nanoelettromeccanici), biochip, nuovi dispositivi e componenti elettronici, oltre che alla ricerca sui wafer di semiconduttori e altre forme e tipologie di substrati.

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