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- ELETTRONICA OGGI 432 - NOVEMBRE/DICEMBRE 2013
sformarsi in elementi sensoriali e/o attuatori al co-
mando di MPU e MCU quasi come fossero i sensi e i
muscoli al servizio dei nostri pensieri. Le tecnologie
con cui vengono fabbricati i MEMS sono ormai deli-
neate in alcune considerate fondamentali che però
sono solo un ristretto insieme di quanto attualmente
disponibile nei laboratori e negli impianti produttivi:
strutture piezoelettriche inerziali per i sensori mec-
canici, chimici e biologici, membrane capacitive per
i sensori acustici e di pressione, filmmagnetici sottili
per i sensori di corrente, membrane con effetto foto-
elettrico o risonanza elettromagnetica per i senso-
ri ottici ed elettro-ottici. Oggi però buona parte del
recente rinvigorirsi del successo dei MEMS si deve
al miglioramento delle tecnologie di connessione in
rame fra gli elementi circuitali e meccanici di silicio
e i contatti esterni che ora avviene con fili sottilis-
simi dalle ottime prestazioni soprattutto in velocità
e frequenza accompagnate da un’eccezionale robu-
stezza e dal costo molto competitivo del rame. Que-
sta possibilità ha aperto la strada per lo sviluppo di
svariate nuove possibilità applicative finora frenate
proprio dai limiti nell’affidabilità delle prestazioni o
dall’elevato costo. Il segmento di mercato che mag-
giormente potrà trarne vantaggio è senza dubbio
quello dei sensori MEMS per applicazioni medicali.
Le vie del successo
La società di ricerche di mercato francese Yole
Développement registra nel difficile 2012 una cre-
scita del 10% per il settore dei dispositivi MEMS e
ne prevede un’ulteriore solida crescita fino al 2018
con CAGR (Compound Annual Growth Rate, tasso di
crescita annuale medio) compreso fra il 12 e il 13%.
Nel report “Status of the Mems Industry 2013” c’è
anche una dettagliata classifica dei protagonisti del
settore ed è certamente da sottolineare che i primi
due siano entrambi europei con STMicroelectronics
leader seguita da Robert Bosch e al terzo posto da
Texas Instruments. Oltre che nel settore già conso-
lidato delle applicazioni automotive, il report indica
nelle applicazioni consumer la vera risorsa per un
impiego ancor più massiccio dei MEMS, giacché è
nei prodotti elettronici di consumo che vanno oggi
considerati gli smartphone e i tablet, dentro ai quali
adesso si trovano già come minimo una decina di
MEMS destinati a triplicare o a quintuplicare non
appena si cominceranno a implementare le nuove
tecnologie come, ad esempio, i MEMS, per il recupe-
ro e il riutilizzo dell’energia ambientale (energy har-
vesting) di cui tanto si parla.
Oggi si stanno affermando sul mercato i sintonizza-
tori RF in forma MEMS e crescono le vendite per i
sensori combinati, capaci di rilevare più grandezze
e per i micro attuatori multi funzione realizzati con
caratteristiche che promettono bene soprattutto in
medicina. Il report, tuttavia, prevede ancora anni di
successo per gli accelerometri, i giroscopi e i sen-
sori inerziali sempre più fondamentali in tutti i pro-
dotti elettronici portatili e palmari. Fra le applicazioni
emergenti dei MEMS non va dimenticata la domoti-
ca ossia la gestione intelligente degli edifici inelutta-
bile nelle nuove costruzioni e cresce l’uso dei MEMS
nell’illuminazione, nonché nel mondo dello sport e
del fitness.
Particolarmente nei riguardi dell’impiego dei MEMS
per la salute e nelle applicazioni medicali in generale
i vantaggi sono notevoli proprio per la possibilità di
TECH-FOCUS
Fig. 2 – Presto nei tablet e negli
smartphone ci saranno decine
di MEMS fra cui anche i disposi-
tivi per il recupero e il riutilizzo
dell’energia ambientale
