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50 - ELETTRONICA OGGI 436 - MAGGIO 2014
sistemi micro-elettro-meccanici hanno già
un ruolo predominante nell’industria elet-
tronica perché sono essenziali in un gran
numero di prodotti e sistemi elettronici auto-
motive, telecom e consumer ma non tutti si
ricordano che sono anche fra i responsabili
della più importante svolta nella scienza e
nell’ingegneria dell’ultimo decennio, quando
hanno fortemente influenzato i ricercatori a
spingersi alle dimensioni nanometriche e cre-
are la moderna nanotecnologia. Come è noto,
fra i vantaggi fondamentali dei Mems non ci
sono solo le dimensioni micrometriche, che
ovviamente diventano nanometriche quando
si parla di Nems, ma c’è
soprattutto il costo che
è molto competitivo per
la possibilità di usare le
stesse linee produttive
già installate negli stabi-
limenti che producono i
circuiti integrati.
Inoltre, dopo i primi anni
durante i quali si rea-
lizzavano prevalente-
mente Mems di silicio,
si è capito che si poteva
facilmente integrare nei
dispositivi anche parti di
vetro, ceramica, leghe
composite e persino
polimeri. Dopo di ciò, è stato facile cominciare
a sperimentare i dispositivi e i sistemi Mems
per le applicazioni medicali dato che fra i
polimeri esistono molti materiali con ottime
caratteristiche e prestazioni da tutti i punti di
vista ossia nelle proprietà meccaniche, nella
risposta elettronica e nell’interazione con le
sostanze organiche: quanto di meglio si potes-
se desiderare per realizzare i BioMEMS. Fu
così che in pochi anni sono stati sviluppati
processi di fabbricazione specifici per gli
elementi micromeccanici biocompatibili come
l’incisione al plasma, l’abrasione galvanica, la
lavorazione laser, la microfresatura, la stere-
TECHFOCUS BIOMEMS
Le prospettive dei sistemi Mems
crescono anche per la relativa
semplicità con cui si possono
realizzare strumenti, sensori e
attuatori biocompatibili e adatti
all’utilizzo intracutaneo
I BIOMEMS DIVENTANO
I
NELLE APPLICAZIONI
Lucio Pellizzari
Fig. 1 – Yole Développement pronostica per i BioMems una crescita continua almeno fino al 2018