Tecnologia MEMS nella sensoristica avanzata

Dalla rivista:
Elettronica Oggi

 
Pubblicato il 20 luglio 2011

Sono sempre più numerose le applicazioni dei dispositivi MEMS, che spaziano dai commutatori per segnali laser ai sensori per telescopi, dalle lenti deformanti ai proiettori e display avanzati ma contemplano anche sensori inerziali, accelerometri di precisione, scanner retinici, otturatori digitali, interferometri, sensori per misure sofi sticate

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