STMicroelectronics ha iniziato a lavorare, insieme ad altri partner provenienti da università, istituti di ricerca e mondo industriale, allo sviluppo di una linea pilota per wafer da 200 mm per la produzione dei dispositivi MEMS della prossima generazione.
Il progetto, denominato Lab4MEMS, ha un budget di 28 milioni di euro. Uno degli obbiettivi principali del progetto è perfezionare il processo di deposizione del PZT (zirconato titanato di piombo) in modo da renderlo compatibile con la produzione di massa e integralo nei processi di sviluppo dei MEMS.
L’evoluzione di questo processo permetterà di realizzare sensori smart, azionamenti, micro-pompe e dispositivi di energy harvesting in grado di soddisfare le aspettative dei prodotti delle future generazioni destinati ad applicazioni sia industriali sia consumer.
Il sito di produzione principale per la linea pilota Lab4MEMS sarà la fabbrica di ST di Agrate Brianza. Tra le altre aziende coinvolte nel progetto si possono annoverare Solmates BV, Cavendish Kinetics BV, Okmetic Oy, Picosun Oy e KLA-Tencor.