STMicroelectronics sta aumentando notevolmente la propria capacità di produzione di Mems per superare la soglia di 3 milioni di sensori al giorno entro la fine del 2011 e rispondere alla crescita esplosiva della domanda di clienti che richiedono sensori ad alte prestazioni con costi competitivi.
Benedetto Vigna, group vice president e direttore generale della divisione Mems, sensori e analogici ad alte prestazioni, ha detto: “Siamo alla testa della rivoluzione dei Mems per l’elettronica di consumo e la nostra missione è continuare a guidare il mercato. Stiamo rafforzando la nostra macchina manifatturiera per anticipare e incoraggiare l’utilizzo dei Mems nei mercati in forte crescita come i sistemi per la cura della salute, le applicazioni industriali e l’automobile. ST ha in mano le carte giuste per diffondere ovunque i sensori realizzati con lavorazioni micro-meccaniche, in tutti gli ambiti della vita quotidiana.”
Nel 2006, ST è stata il primo grande produttore al mondo a iniziare a fabbricare dispositivi Mems su wafer di silicio da 8 pollici. Questa mossa coraggiosa ha ridotto molto il costo unitario e ha accelerato la crescita delle applicazioni già esistenti e lo sviluppo di nuovi mercati per i MEMS. Le principali linee produttive utilizzate per la fabbricazione dei MEMS di ST sono ad Agrate e Catania (produzione del sensore), Rousset e Crolles, Francia (produzione del chip di silicio per la logica integrata), e Kirkop, Malta e Calamba, Filippine (assemblaggio e collaudo).
La produzione di sensori Mems di ST sfrutta i vantaggi di processi manifatturieri sviluppati dalla società e leader nell’industria. Il processo di micro-lavorazione superficiale Thelma (Thick Epi-Poly Layer for Microactuators an Accelerometers), che unisce strati di silicio policristallino con spessori variabili, spessi e sottili, per realizzare strutture e interconnessioni, viene utilizzato per la produzione di accelerometri e giroscopi. Permette di integrare gli elementi meccanici lineari e angolari in un solo chip, offrendo ai clienti notevoli vantaggi di costo e dimensioni. Il processo complementare Vensens (Venice Sensors) permette di integrare una cavità in un silicio mono-cristallino, per realizzare un sensore di pressione ultra-compatto con eccellenti caratteristiche funzionali e dimensionali.
La capacità di gestire ritmi elevati di produzione è diventata uno dei fattori più importanti per rispondere adeguatamente all’aumento della domanda dei Mems ed è un elemento fondamentale per il successo di un produttore di Mems. La piattaforma d’avanguardia di ST per l’assemblaggio e il collaudo dei Mems può gestire in parallelo un grande numero di sensori generando sollecitazioni costanti e ripetibili per il collaudo di ogni singolo dispositivo, con un incremento notevole della produttività totale.
Attualmente, i sensori Mems ST hanno già permesso di realizzare interface attivate dal movimento in diversi sistemi molto diffusi di elettronica di consumo, come smartphone, tablet, lettori digitali portatili, giochi elettronici, macchine fotografiche digitali e telecomandi. I produttori di computer fanno un grande uso dei sensori di accelerazione della Società per proteggere i dischi rigidi dei laptop in caso di caduta libera; i produttori di sistemi per l’automobile usano i Mems della ST in applicazioni come gli airbag e i sistemi avanzati per la navigazione.