EO529

Tecnologia ELETTRONICA OGGI 529 - ottobre 2025 62 L’acronimo “Mems” sta per MicroElectroMechanical Systems, ovve- ro microsistemi elettromeccanici: sistemi meccatronici di dimensio- ni estremamente ridotte. La loro origine è legata a un’importante svolta tecnologica. Quando, circa quarant’anni fa, l’ingegneria di precisione tradizionale raggiunse i limiti imposti dalle leggi fisiche, si iniziarono a utilizzare i processi produttivi già consolidati nell’in- dustria dei semiconduttori per realizzare strutture meccaniche estre- mamente piccole ma, al contempo, altamente complesse. Questo ha segnato la nascita della tecnologia dei microsistemi, che integra componenti elettronici, meccanici e ottici in spazi estrema- mente ridotti. Grazie a essa è stato possibile realizzare apparecchi acustici praticamente invisibili, dotati di microfoni e altoparlanti di dimensioni minime, e sviluppare minuscoli attuatori utilizzati, ad esempio, per creare pompe o motori a scopo medicale, talmente compatti da poter essere integrati all’interno dei vasi sanguigni. La tecnologia Mems rappresenta oggi uno dei rami più importanti del- la tecnologia dei microsistemi. Produzione monolitica I sensori Mems vengono realizzati a partire da wafer di silicio me- diante un processo di incisione simile a quello utilizzato per la pro- duzione dei chip semiconduttori. In entrambi i casi, il procedimento viene ripetuto più volte con maschere differenti, al fine di ottenere strutture tridimensionali. La rimozione successiva di strati di materia- le consente la creazione di strutture contenenti parti mobili. Ciò che rende questo processo particolarmente innovativo è che In alto, scheda madre di un computer, che mette in evidenza i vari componenti elettronici tra cui un circuito integrato (IC) Sopra, scheda elettronica, focalizzata su un circuito integrato (chip) a montaggio superficiale, saldato direttamente sul circuito stampato (PCB)