EO 515

Le prestazioni dei sensori MEMS sono superiori rispetto a quelle dei macrosensori per cui sono ampiamente utiliz- zati una varietà di sensori MEMS commerciali. I microfoni MEMS hanno una densità di prestazioni più elevata, posso- no essere saldati a riflusso, presentanominori variazioni di sensibilità alle temperature e hanno una sensibilità alle vi- brazioni inferiore rispetto agli ECMtradizionali. Imicrofoni MEMS possono essere facilmente integrati con altri circuiti di microlivello, il che li rende perfetti per varie applicazio- ni, inclusi ma non limitati a smartphone e tablet, nonché applicazioni automobilistiche, industriali e mediche. Inol- tre, le dimensioni ridotte dei microfoni MEMS li rendono perfetti per l’uso sotto forma di array di più microfoni per diverse applicazioni in prodotti di piccole dimensioni. Come gli ECMconvenzionali, unmicrofonoMEMS contiene una piastra posteriore e unamembrana flessibile realizzata su un wafer di silicio. La piastra posteriore perforata con- sente l’ingresso dell’onda di pressione sonora che provoca il movimento della membrana flessibile. Il movimento della membrana flessibile provoca una variazione di capacità tra la membrana e una piastra fissa, che viene convertita in un segnale elettrico attraverso vari tipi di circuiti di interfac- cia. La direzionalità definisce la sensibilità del microfono a de- terminati suoni, ovvero se capta il suono da una direzione specifica o da tutte le direzioni circostanti. Le rappresenta- zioni grafiche di questi schemi direzionali sono note come schemi polari, come quello di esempio in figura 1. In termini di direzionalità, i microfoni MEMS possono es- sere suddivisi in due tipologie: 1. Microfono omnidirezionale È unmicrofono che riceve equamente le onde sonore da tutte le direzioni, cioè mostra la stessa sensibilità alla sorgente sonora in ogni diversa posizione. Questo tipo di microfono è un buon candidato per un’applicazione in cui la sorgente sonora cambia posizione attorno al microfono. 2. Microfono direzionale Invece di generare una risposta elettrica dalle onde so- nore che arrivano da tutte le direzioni attorno al dispo- sitivo, il microfono direzionale produce la sua uscita più forte quando le onde sonore arrivano lungo un singolo asse verticale o parallelo alla superficie di una mem- brana microfonica in movimento. TECH FOCUS MEMS Fig. 1 – Diagramma polare di un microfono ( https://microfono. rocks/it/la-guida-completa-ai-modelli-polari-del-microfono/ ) Fig. 2 – Struttura di base di un microfono capacitivo MEMS ( https://www.mdpi. com/2072-666X/11/5/484 ) ELETTRONICA OGGI 515 - GENNAIO/FEBBRAIO 2024 40