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COMPONENTS MEMS 60 - ELETTRONICA OGGI 470 - MAGGIO 2018 report estivo “Status of the MEMS Industry” gli analisti francesi di Yole Développement prevedono un roseo futuro per i sensori mems che cresceranno con Cagr del 14% dal 2017 al 2022 e con Cagr almeno doppio per gli oscillatori mems che sapranno conquistare il 100% del settore a scapito dei cristalli di quarzo desti- nati a scomparire entro cinque anni. In questo ambito a fare la differenza sono le industrie statunitensi. Clock fino a +125 °C Abracon progetta e fabbrica a Spicewood, in Texas, componenti passivi e temporizzatori a radiofrequenza sin dal 1992 e più recentemente produce oscillatori sia con i cristalli di quarzo sia di tipo mems. Questi ulti- mi sono numerosi e configurati in svariati package e differenti opzioni di tolleranza termica. La nuova serie ASDMB con uscita Lvcmos genera clock compresi fra 1 e 150 MHz con stabilità termica di ±10 ppm, stabilità in frequenza di ±50 ppm e jitter medio di 10 ps RMS . Può essere alimentata da 1,8 a 3,3 V, consuma meno di 10 mA ed è proposta in package a montaggio superficia- le da 2,5 x 2,0 mm con tolleranza termica industriale estesa da -40 a +85 °C o a +105 °C oppure commer- ciale limitata da 0 a 70 °C o da -20 e +70 °C. Gli stessi oscillatori mems con clock generato fra 1 e 150 MHz e stesse caratteristiche sono proposti anche nelle ver- sioni ASEMB in package da 3,2 x 2,5 mm, ASFLMB da 5,0 x 3,2 mm e ASVMB da 7,0 x 5,0 mm con le medesi- me opzioni termiche. Più ampia è la banda degli oscil- latori ASDMP, ASEMP, ASFLMP e ASVMP che possono generare clock da 10 a 460 MHz con jitter che scende a 3 ps RMS , alimentazione che va da 2,25 a 3,6V e uscita da scegliere fra Lvcmos, Lvds, Lvpecl e Hcsl. I rispet- tivi package sono quelli precedenti ma qui in più c’è anche l’opzione termica fra -55 e +125 °C con stabilità termica di ±25 ppm. Clock in 1,2 mm 2 Ecliptek produce oscillatori al quarzo ed elettromecca- nici a Reno, inNevada, sin dal 1987 e da qualche anno ha arricchito il suo listino con numerosi componenti mems in tecnologia CMOS o Lvpecl. La nuova serie EMRB8x è composta da sei oscillatori con frequenza prefissata di 32,768 kHz, la più utile in gran parte delle applicazioni. Sono proposti con due opzioni di tolleranza termica fra -10 e +70 °C o fra -40 e +85 °C e consumo massimo di 1,5 µA per i primi e 1,8 µA per i secondi mentre in en- trambi i casi scende a 1,0 µA alla temperatura ambiente di 25 °C. Sempre a 25 °C il jitter tipico è limitato a 0,035 ps RMS mentre la precisione in frequenza garantita è di ±20 ppm e sale rispettivamente a ±75 ppm oppure a ±100 ppm nei due range termici. Il package è CSP da 0,8 x 1,5 mm anche per le altre cinque versioni che dif- feriscono per la tensione di alimentazione di 1,8, 2,5, 2,8, 3,0 o 3,3 V e il consumo che sale al massimo fino a 1,7 µA e a 1,9 µA nelle due opzioni termiche. Stesse iden- tiche caratteristiche anche per la nuova serie EMRB6x che viene proposta in cinque modelli in package SMD da 1,2 x 2,0 mm. Più versatili sono i sei oscillatori mems EMRA4x che possono regolare la frequenza generata da 1 a 137 MHz e sono proposti in package SMD da 2,0 x 2,5 mm con stesse opzioni di alimentazione e in più una graduabile da 2,25 a 3,63 V. In questi ultimi l’uscita è Lvcmos mentre la tolleranza termica è estesa da -55 fino a +125 °C con stabilità in frequenza di ±100 ppm nel caso peggiore e ±25 ppm a 25 °C. Clock IoT Microchip Technology realizza semiconduttori analogi- ci e a segnali misti in Arizona sin dal 1989. Recentemen- te ha presentato le due nuove serie di oscillatori mems Ultra-Low Power DSC60xx e DSC61xx proposte in quat- tro package da 1,6 x 1,2 mm e 2,0 x 1,6 mm più adatti ai sistemi indossabili, e da 2,5 x 2,0 mm o 3,2 x 2,5 mm pin- compatibili con molti degli attuali cristalli di quarzo ai quali possono sostituirsi. Questi oscillatori mems sono pensati per temporizzare le applicazioni IoT alimentate a batteria dove i consumi sono un requisito fondamen- tale, ma nel contempo sono sufficientemente robusti per soddisfare la certificazione AEC-Q100 necessaria per le applicazioni automotive. La serie DSC6000 gene- ra clock da 2 a 80 MHz con stabilità in frequenza di ±25 ppm e jitter medio compreso fra 20 e 25 ps RMS mentre il consumo è limitato a 1,3 mA, che si riducono a 12 µA in standby, con alimentazione ammessa da 1,71 a 3,63 V e tolleranza termica fra -40 e +85 °C nella versione in- Fig. 3 – Generano clock da 1 e 150 MHz oppure da 10 a 460 MHz i nuovi oscillatori mems Abracon proposti in package commerciali o industriali con tenuta termica estesa da -55 fino a +125 °C Fig. 4 – Sono proposti in package CSP da 0,8 x 1,5mm gli oscillatori mems Ecliptek EMRB8x con frequenza prefissata di 32,768 kHz e jittermediodi 0,035 ps RMS

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