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ANALOG/MIXED SIGNAL ADVANCED SENSORS 44 - ELETTRONICA OGGI 470 - MAGGIO 2018 Il nuovo microfono Infineon misura 4 x 3 x 1,2 mm e ha un rapporto segnale/rumore SNR di 70 dB con una distorsione armonica totale (THD) dell’1% al livello di pressione sonora di 135 dB (SPL, Sound Pressure Level). Questo significa che la sensibilità migliora di oltre 6 dB rispetto ai microfoni MEMS a una sola piastra e perciò la distanza di cattura dei comandi vocali diventa quasi doppia. Il micro- fono è proposto con interfaccia d’uscita analogica (IM70A135) o digitale (IM69D130) e a bordo del chip c’è anche un’interfaccia utilizzabile per implementa- re più microfoni in array e migliorare ulteriormente la direzionalità e la precisione di cattura. Idrogeno gassoso Kebaili è una giovane società di Irvine, nel sud della California, fondata da un team di esperti sulle tecno- logie MEMS e NEMS utilizzando le quali ha messo a punto un processo brevettato per la fabbricazione delle superfici Micro-Hotplate (MHP) utilizzabili nei sensori e trasduttori. In pratica, purché sia alla giusta temperatura, l’os- sido di metallo sulla superficie MHP del sensore adsorbe selettivamente i gas che sono a contatto e cambia di conseguenza la sua resistenza in funzione della loro concentrazione. Con questa tecnologia nel formato da 1 x 1 x 0,38 mm propone il sensore ceramico KMHP-100 che può essere calibrato per la misura di svariate sostanze chimiche in un range termico che arriva fino a 650 °C. L’ultima sua evoluzione è il MEMS-based Mi- cropellistor Hydrogen Sensor KHS-200 in package TO18 a 3 pin con involucro metallico e stesso ele- mento sensibile di 1 mm 2 . Questo sensore rileva l’idrogeno gassoso nel range che va da 0 a 100% LEL (Lower Explosive Limit) cor- rispondenti a una densità in volume per le molecole di H2 che va dallo 0 al 4%. Il principio di cattura è l’ossidazione microcatalitica superficiale calibrata appositamente per l’idrogeno in un range termico che va da -55 a +125 °C e con umidità che può varia- re dallo 0 al 100%. Alimentabile a 1,5 Vdc consuma 30 mW. Accelerazioni precise Tronics Microsystems è la divisione del TDK Tempe- rature & Pressure Sensors Business Group con sede a Crolles, in Francia, e Dallas, in Texas, che festeg- gia in questo periodo 20 anni dedicati allo sviluppo dei sistemi micro e nano elettromeccanici. L’ultimo sensore MEMS proposto è l’accelerometro Tronics AXO215 che completa la famiglia di dispositivi a ele- vate prestazioni GYPRO consigliata per la strumen- tazione di precisione, l’avionica e il controllo dei vei- coli senza pilota di ogni tipo. La configurazione circuitale ad anello chiuso riesce a ridurre l’errore non lineare a meno dello 0,05% mentre il package ermetico J-lead che misura 12 x 12 mm e pesa 1,4 grammi garantisce la robustezza necessaria alle applicazioni più critiche con resi- stenza alle vibrazioni ambientali di 7,3 grms e tolle- ranza termica che va da -40 a +80 °C. La sensibilità è di ±15 grammi con una non linearità di 200 ppm e un rumore ultra basso confinato a 15 µg/ Hz mentre lo stadio d’uscita digitale con risolu- zione di 24 bit riduce la tolleranza di polarizzazione a 3 µg e garantisce un tempo di risposta inferiore a 1 ms. L’accelerometro AXO215 si può alimentare a 5 V, consuma 25 mA ed è predisposto per l’installazio- ne plug-and-play nella piattaforma di prototipazione Arduino M0, in modo tale da agevolare la configura- zione delle applicazioni e la manutenzione dei siste- mi di controllo. Riferimenti: Electrochemical Society of Japan, www.jstage. jst.go.jp/article/electrochemistry/85/9/85_17- 5-E2666/_pdf Research and Markets, www.researchandmarkets. com/reports/4257916/micro-electro-mechanical- systems-mems-market-by#relb0 Fig. 5 – Il sensore MEMS Kebaili KHS-200 con superficie MHP di 1 mm 2 rileva l’idrogeno gassoso fra 0 e 100% LEL oppure dallo 0 al 4% in volume Fig. 6 – L’accelerometro MEMS Tronics AXO215 rivela ±15 grammi con una non linearità inferiore a 200 ppme il rumore confinato a 15 μg/√Hz